TFT-LCD生产技术难度,跟半导体生产完全不同。
半导体生产线,一般来说,越是早期生产线,消化吸收技术越容易。而LCD,则正好相反!
第一代TFT生产线,那就是难度之王!
这就是中国在一代产线上,摔了两个跟头的根本原因。
大家什么时候听说过,生产线建成,却无法投产的?这还是生产线了吗?
但在一代TFT线上摔跟头的,比比皆是。大陆如此,美国人如此,韩国人如此,台湾也是如此。
关于1代生产线的生产难度,引用当时东芝市场营销部门的一个高级经理所说,
“那时候就像是在一堆垃圾里,寻找一片能用的液晶屏。”
最早进入大批量生产的日本企业,是花了足足四年时间,才渐渐使良率从不到10%上升到了80%。
DTI(IBM与东芝合资)的这条生产线,从投产开始,良率就一直始终很低。截至92年三月,平均每个月仅产出4200片。
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第一代TFT-LCD生产如此困难,最大的原因,是对生产环境的洁净度要求。
由于TFT生产线与半导体生产线,有很大一部分工序重合,但LCD的精度要求比较低(10微米)。
所以这些厂家,就想当然的认为,LCD生产环境,对环境的要求也会比较低(跟小型液晶一样)。
但实际情况正好想法。由于LCD的面积较大,被灰尘污染的概率加大了。另外,在晶圆生产的过程中。一个晶圆,可以被切割为成百,上千颗芯片。这些芯片,有几个被污染了,也没有关系,淘汰就是了。
但是LCD,只有一个,无法淘汰!
第二个原因,是专用设备。
现在各厂家使用的设备,主要是用于制造太阳能电池的通用设备。
电池板的制作,对尘埃颗粒的影响并不敏感。以通用设备加工出来的产品,质量无法保证。
原因被找到以后,各大LCD生产厂家,只能寻找设备厂商(美国应材)寻求帮助,针对性的整改。
新一代的LCD专用设备面世(1993年10月)以后,从1994年开始(2代线)LCD的成品率,就上升到了80%。(设备厂家号称90%)
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过了第一代技术之后,从第二代开始,TFT-LCD的难度,理应很容易了,对吧!
其实不然,它还是很难!
关于早期LCD生产技术难度的一个旁证:
TFT的第一代生产线量产诞生时间是1989年,它的(经济)尺寸是10英寸。但是时间走到了2000年,这个尺寸也才走到了17英寸。
整整十年时间,LCD的尺寸,仅仅才扩大了7英寸!
下面是当时主流生产线的经济尺寸。
1代线(1991),市场
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