比单晶硅的性质要更加稳定,所以需要腐蚀性、塑固性更强的溶液来进行处理。
化学配置各种溶剂,在所需要的基础材料手中都有的情况下对韩元这个老化工人来说并不难,各种化学反应他早已经牢记于心,甚至可以说是刻在基因中。
从易到难,一份份的化学溶剂在他手中出现,这些装在或装在玻璃容器或装在聚酯容器中的溶液,是最终组成溶剂组的原料。
相对适用于碳基芯片的增感剂来说,溶剂组中的各种混合型溶剂更加容易制备。
这些溶剂在光刻胶的制造材料中属于最简单的。
它们作为聚合反应的介质,可以让光刻胶与对应涂层的反应缓和,易于控制温度,防止凝胶增加贮存稳定性等。
溶剂组虽然是由多种不同的化学溶剂组合而成,但其中的绝大部分溶剂都可以找到替换的材料。
不像增感剂,始终就那几种材料在使用。
处理完溶剂组需要的各种化学溶液,韩元先对其进行了检测,确认溶剂组符合要求才开始处理增感剂。
准备好材料,他进入储物间翻找出来一组玻璃容器。
看着这组落上了一些灰尘的玻璃容器,韩元有些唏嘘,这还是三年前他为了提炼制备塑化剂时使用的设备。
因为整体容器组成相对特殊,在用完之后后续的化学实验就没有再用过了。
若不是今天需要制备增感剂,这组结构特殊的玻璃容器韩元都想不起来它的存在。
将翻出来的玻璃容器组清理干净,韩元检查了一下容器连接处的玻璃管和特殊材料,发现有些老化后进行了更换了。
重新组装好的设备新玻璃和老玻璃的状态异常分明,新替换上去的玻璃光亮透明,一眼就能看透,带着淡淡的反光。
而经历了时间的考验,那些占据了容器主体部分的老旧玻璃则带着一丝哑光感觉,虽然同样透明,但明显的可以看出区别。
当然,这些老旧玻璃的存在并不影响使用。
组装好容器,韩元拉过了镜头,道:“用于碳基芯片的光刻胶和用于硅基芯片上的光刻胶有所不同刚刚我已经讲过了。”
“而这其中,最大的区别是两种光刻胶中使用的‘增感剂’。”
“增感剂,又叫做光敏引发剂,它是一种能吸收辐射能,经激发发生光化学变化,产生具有引发聚合能力的活性中间体,自由基或阳离子的材料。”
“简而言之,就是它能吸收光刻机中‘极紫外光’的辐射能,然后让光刻胶整体发生化学变化。”
“而这种化学变化,会让光刻胶下面的晶圆产生变化,有的可能是让晶圆固化,有的可能是让晶圆腐蚀。”
“这也是光刻胶会被分为‘正负’两性的主要原因。”
顿了顿,韩元扭身从桌上拿起刚刚准备好的材料,接着道:“和硅基芯片使用安
请收藏:https://m.hbsar.org
(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)